Ειδικές Εφαρμογές Καθαριστικών Πλάσματος

Οι μηχανές καθαρισμού/χαρακτικής πλάσματος παράγουν πλάσμα τοποθετώντας δύο ηλεκτρόδια σε ένα σφραγισμένο δοχείο για τη δημιουργία ηλεκτρικού πεδίου. Μια αντλία κενού χρησιμοποιείται για τη διατήρηση ενός συγκεκριμένου επιπέδου κενού. Καθώς το αέριο γίνεται όλο και πιο σπάνιο, η απόσταση μεταξύ των μορίων και η ελεύθερη κίνηση των μορίων ή των ιόντων αυξάνεται επίσης. Υπό την επίδραση του ηλεκτρικού πεδίου, αυτά τα ιόντα συγκρούονται και σχηματίζουν πλάσμα. Αυτά τα ιόντα είναι εξαιρετικά αντιδραστικά, με αρκετή ενέργεια για να σπάσουν σχεδόν όλους τους χημικούς δεσμούς, προκαλώντας χημικές αντιδράσεις σε οποιαδήποτε εκτεθειμένη επιφάνεια. Διαφορετικά αέρια πλάσματα έχουν διαφορετικές χημικές ιδιότητες. Για παράδειγμα, το πλάσμα οξυγόνου είναι εξαιρετικά οξειδωτικό, ικανό να οξειδώνει φωτοανθεκτικό για να παράγει αέριο, επιτυγχάνοντας έτσι καθαριστικό αποτέλεσμα. Το διαβρωτικό αέριο πλάσμα έχει εξαιρετική ανισοτροπία, η οποία πληροί τις απαιτήσεις χάραξης. Η επεξεργασία πλάσματος παράγει μια λάμψη, εξ ου και η ονομασία εκκένωση λάμψης.
Ο μηχανισμός καθαρισμού πλάσματος βασίζεται κυρίως στην «ενεργοποίηση» ενεργών σωματιδίων στο πλάσμα για την αφαίρεση επιφανειακών λεκέδων. Όσον αφορά τον μηχανισμό αντίδρασης, ο καθαρισμός του πλάσματος περιλαμβάνει γενικά την ακόλουθη διαδικασία: τα ανόργανα αέρια διεγείρονται σε κατάσταση πλάσματος. αέριες ουσίες προσροφούνται στη στερεά επιφάνεια. Οι προσροφημένες ομάδες αντιδρούν με μόρια στη στερεά επιφάνεια για να σχηματίσουν μόρια προϊόντος. τα μόρια του προϊόντος αποσυντίθενται στην αέρια φάση. και τα υπολείμματα της αντίδρασης απομακρύνονται από την επιφάνεια.

Το πιο σημαντικό χαρακτηριστικό της τεχνολογίας καθαρισμού πλάσματος είναι ότι μπορεί να επεξεργαστεί οποιονδήποτε τύπο υποστρώματος, συμπεριλαμβανομένων μετάλλων, ημιαγωγών, οξειδίων και των περισσότερων πολυμερών υλικών όπως πολυπροπυλένιο, πολυεστέρας, πολυιμίδιο, χλωριούχο πολυβινύλιο, εποξειδικό, ακόμη και πολυτετραφθοροαιθυλένιο. Μπορεί να καθαρίσει τόσο ολόκληρη την επιφάνεια και συγκεκριμένες περιοχές, όσο και πολύπλοκες κατασκευές.