Δομή μηχανής χάραξης πλάσματος

Ο εξοπλισμός ICP αποτελείται κυρίως από τέσσερα μέρη: προ-θάλαμος κενού, θάλαμος χάραξης, σύστημα παροχής αερίου και σύστημα κενού.

(1) Προ-θάλαμος κενού

Η λειτουργία του θαλάμου προ-κενού είναι να διασφαλίζει ότι ο θάλαμος χάραξης διατηρείται σε καθορισμένο επίπεδο κενού, ότι δεν επηρεάζεται από το εξωτερικό περιβάλλον (όπως σκόνη, υδρατμοί) και απομονώνει επικίνδυνα αέρια από το καθαρό δωμάτιο. Αποτελείται από κάλυμμα, χειριστή, μηχανισμό μετάδοσης, πόρτα απομόνωσης κ.λπ.

(2) Θάλαμος χάραξης

Ο θάλαμος χάραξης είναι η δομή του πυρήνα του εξοπλισμού χάραξης ICP. Έχει άμεσο αντίκτυπο στον ρυθμό χάραξης, την κατακόρυφη χάραξη και την τραχύτητα. Τα κύρια εξαρτήματα του θαλάμου χάραξης είναι: άνω ηλεκτρόδιο, μονάδα ραδιοσυχνοτήτων ICP, μονάδα ραδιοσυχνοτήτων RF, σύστημα κάτω ηλεκτροδίων, σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας κ.λπ.

(3) Σύστημα παροχής αερίου

Το σύστημα παροχής αερίου πρέπει να παρέχει διάφορα αέρια χάραξης στον θάλαμο χάραξης και να ελέγχει με ακρίβεια τον ρυθμό ροής και τη ροή αερίου μέσω του ελεγκτή πίεσης (PC) και του ελεγκτή ροής μάζας (MFC). Το σύστημα παροχής αερίου αποτελείται από μια φιάλη πηγής αερίου, έναν αγωγό παροχής αερίου, ένα σύστημα ελέγχου, μια μονάδα ανάμειξης κ.λπ.

(4) Σύστημα κενού
Υπάρχουν δύο συστήματα κενού, ένα για τον προ-θάλαμο κενού και το άλλο για τον θάλαμο χάραξης. Ο θάλαμος προ-κενού εκκενώνεται από μια μηχανική αντλία. Μόνο όταν το επίπεδο κενού στο θάλαμο προ{4}}κενού φτάσει την καθορισμένη τιμή, μπορεί να ανοίξει η πόρτα απομόνωσης για να μεταφερθεί η γκοφρέτα. Το κενό στο θάλαμο χάραξης παρέχεται από μια μηχανική αντλία και μια μοριακή αντλία. Τα αέρια που παράγονται από την αντίδραση στον θάλαμο χάραξης εκκενώνονται επίσης από το σύστημα κενού.